Obleas de carburo de silicio 4H-SiC de 150 mm con epitaxia de 3um, N(N) =2E14 cm-3, para la producción en el IMB-CNM de dosímetros de radiación avanzados.

Presidencia de la Agencia Estatal Consejo Superior de Investigaciones Científicas, M.P.NIF Q2818002DDIR3 EA0020951

Administración General del Estado · Madrid